闭环之困：损耗与机遇并存 ITO靶材在溅射镀膜过程中利用率通常仅30%左右，大量含铟废料（废旧靶材、边角料、镀膜腔室废料）随之产生。过去，这些价值的废料往往被简单处理或堆积。建立从“废靶材→再生铟→新靶材”的闭环体系，成为破解资源约束的黄金路径。
在分离铟和其他金属和材料时，可以采用几种方法，包括选择性溶解、溶剂萃取、离子交换和沉淀。选择性溶解使用化学浸出剂选择性地溶解铟，而保持其他金属和材料不变。溶剂萃取使用有机溶剂选择性地提取铟。离子交换则通过树脂吸附铟离子，同时留下其他离子。沉淀法使用化学试剂使铟从溶液中沉淀出来，而将其他金属和材料留在溶液中。
提纯铟的方法包括蒸馏法、电解法和区域精炼法。蒸馏通过高温蒸发和冷凝来提纯铟。电解利用电流来提纯铟。区域精炼则通过移动的熔融区来提纯铟。
总体来看，ITO靶粉回收是一项技术成熟、效益显著的工作。通过合理的工艺设计和严格的管理，不仅可以节约资源、降低生产成本，还能减少对自然环境的压力。未来，随着技术的进步和环保意识的提升，这一领域有望得到更广泛的应用和发展。