物理分离法中的机械剥离技术，是通过破碎、筛分和浮选等方法，将ITO涂层与玻璃基板进行分离。随后，再结合化学处理对分离出的ITO涂层进行铟的提取。这种方法主要适用于LCD面板的回收，但需注意，其纯度可能相对较低。
ITO靶粉回收过程通常包括以下几个环节： 1.收集与分类。首先需要将生产过程中产生的废靶材、切削碎屑、镀膜残渣等进行分类收集。不同类型的废料可能需要采用不同的处理方式，因此分类是确保后续处理效率的基础。 2.预处理。废料中可能含有油脂、灰尘或其他杂质，需通过清洗、烘干等方式进行初步处理。对于块状废料，可能需要通过机械破碎、研磨等方式将其转化为粉末状，以便于后续化学处理。 3.溶解与浸出。将预处理后的靶粉与酸性溶液（如盐酸或硫酸）反应，使金属成分溶解到溶液中。这一步骤需要控制温度、浓度和反应时间，以提高金属的浸出率。 4.分离与纯化。通过化学沉淀、溶剂萃取或离子交换等方法，将溶液中的铟与其他金属（如锡、铁等）分离开来。随后，通过进一步提纯，获得高纯度的铟化合物。 5.还原与加工。将纯化后的铟化合物通过电解或化学还原法转化为金属铟，并可进一步加工成符合生产要求的ITO靶材。
ITO靶粉回收虽具有较高价值，但实际操作中需注意以下几点： 1.防护。回收过程涉及强酸、有机溶剂等化学品，操作人员需穿戴防护装备，避免直接接触。工作场所应保持良好的通风条件，防止有害气体积聚。 2.环境保护。回收过程中产生的废水、废渣需妥善处理，避免对环境造成污染。酸性废液应中和后再排放，有机溶剂应尽量回收利用或进行无害化处理。 3.质量控制。回收得到的金属铟需经过严格检测，确保其纯度符合再次生产的要求。杂质含量过高会影响终产品的性能。 4.经济性分析。回收项目需综合考虑成本与收益，包括原材料收集、化学品消耗、能源使用及设备折旧等因素。企业可根据自身情况选择合适的回收规模和技术路线。
随着电子行业的发展，ITO靶材的需求量逐年增长，推动了对废靶材回收的重视。目前，一些大型电子制造企业已开始建立自身的回收体系，或与专业回收公司合作，实现生产废料的循环利用。技术进步也使得回收效率和金属回收率不断提高，进一步降低了生产成本。